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一、箱式高溫爐注意事項(xiàng)
1.除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。
2.實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無(wú)人繼續(xù)使用,請(qǐng)關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng), 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請(qǐng)隨手關(guān)掉。
3.處理HF時(shí),請(qǐng)戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請(qǐng)立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
4.石英玻璃制品請(qǐng)小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。
5.避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
6.(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
7.一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí),請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
8.請(qǐng)節(jié)約純水用量。
9.破晶片、濾紙、棉花棒.......等,請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
10長(zhǎng)短推桿之前端,在還沒使用到時(shí),請(qǐng)朝上以免污染。
11.晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boat的holder,請(qǐng)勿碰觸爐管口,以免污染爐管。
二、高溫箱式電阻爐的常見故障
1.高溫氣氛爐不升溫
(1)電源電壓正常,控制器工作正常,電流表無(wú)顯示,常見故障為電爐絲斷路,可用萬(wàn)用表檢查并用相同規(guī)格的電爐絲更換。
(2)電源電壓正常,控制器不能工作,可檢修控制器內(nèi)部的開關(guān)、熔斷器及爐門的行程開關(guān)。如果電爐的爐門沒有關(guān)好控制器也不能工作,控制器故障的檢修方法可參閱控制器說(shuō)明書。
(3)供電電源的故障:接電時(shí)不能正常工作,控制器內(nèi)發(fā)出連續(xù)的噠噠聲音其原因?yàn)楣╇娋€路的電壓降太大或插座及控制開關(guān)接觸不好,可調(diào)整或更換。
2.高溫箱式電阻爐升溫慢
(1)電源電壓正常,控制器工作正常,常見故障為部分電爐絲斷路,可用萬(wàn)用表檢查并用相同規(guī)格的電爐絲更換。
(2)電源電壓正常,但是電爐的工作電壓低,其原因?yàn)楣╇娋€路的電壓降太大或插座及控制開關(guān)接觸不好,可調(diào)整更換。